Литература ХXI века (эпоха Глобализации экономики) Наноматериалы и нанотехнологии Современные российские издания Справочная литература: прочее Электроника, микроэлектроника, схемотехника
Добавлена: 22.03.2022 Версия: 1.0. Дата создания файла: 2022-03-22 ISBN: 5-9221-0695-3 Издательство: Физматлит Город: Москва (ссылка для форума) (ссылка для блога) (QR-код книги) Аннотация В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. |
Последние комментарии
2 часов 46 минут назад
3 часов 53 минут назад
4 часов 51 минут назад
5 часов 5 минут назад
14 часов 15 минут назад
14 часов 17 минут назад